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热破坏是一种广泛应用和研究的有机废气处理方法，特别是低浓度有机废气，可分为直接火焰燃烧和催化燃烧。直接火焰燃烧是空气流中有机物的直接燃烧和辅助燃料燃烧的方法。在大多数情况下，有机物浓度太低，没有辅助燃料无法燃烧。在适当的温度和停留时间条件下，直接火焰燃烧的热处理效率可达99%。
催化燃烧是指有机物在气流中被加热，在催化床的作用下，有机物的化学反应被加速(或破坏效率的方法)。与直接燃烧法相比，催化剂的存在使得有机物受热破坏时所需的停留时间更短，温度更低。催化剂在催化燃烧系统中起着重要的作用。用于处理和净化有机废气的催化剂主要是金属和金属盐，金属包括贵金属和非贵金属。目前使用的金属催化剂主要是铂和钯，技术成熟，催化活性高，但价格昂贵。当处理含氮、硫、磷等元素的卤素有机化合物时，有机化合物容易氧化和失活催化剂。非金属催化剂包括渡族元素，如钴和稀土。近年来，国内外对催化剂进行了大量的研究，其中大部分集中在非贵金属催化剂上，在能量提取方面也取得了很多成果。例如，用V2O 5 MOX(M: 渡族金属)制成的催化剂处理甲硫醇废气，用铂钯铜促进剂处理含氮有机醇废气。
由于有机废气中经常出现杂质，很容易引起催化剂中毒，并产生毒物(抑制剂主要包括磷、铅、铋和砷、锡，汞、亚铁离子锌、卤素等。催化剂载体可以节约催化剂，增加催化剂的有效面积，使催化剂具有比机械强度，减少烧结，提高催化活性和稳定性。可用作载体的材料主要有氧化铝、铁钒、石棉、粘土、活性炭、金属等。陶瓷载体通常制成网状、球形、柱状和峰窝状。此外，近年来丝光沸石的研究越来越成功。对于催化燃烧，未来的研究和热点仍将是探索活性催化剂及其载体，以及催化氧化的机理。
